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考虑到表面粗糙度测量的膜厚值[FE-0007]

当样品表面存在粗糙度（粗糙度）时，将表面粗糙度和空气（air）及膜厚材料以1：1的比例混合,模拟为“粗糙层”，可以分析粗糙度和膜厚度。此处示例了测量表面粗糙度为几nm的SiN（氮化硅）的情况。

　膜厚仪厂家解释凡其厚度与入射光波长相比拟的并能引起干涉现象(相干光程小于相干长度)的膜层为薄膜，其厚度远大于入射光波波长的膜层称之为厚膜。如今，微电子薄膜，光学薄膜，抗1氧化薄膜，巨磁电阻薄膜，高温超导薄膜等在工业生产和人类生活中的不断应用，在工业生产的薄膜，其厚度是一个非常重要的参数，直接关系到该薄膜材料能否正常工作。

膜厚仪是一种比较精密的监测设备，它在平时的使用中对于精准度的要求很高，但是还是会有误差的现象发生，除了仪器本身的一些故障以外，环境因素也是造成误差的一大“元凶”。